Ｋｉｏｔｈ−Ｍ１００　４種膜対応スパッタ装置
  • Ｋｉｏｔｈ−Ｍ１００　４種膜対応スパッタ装置はトレイ水平搬送方式のスパッタ装置です。
  • トレイによりロードロック室から水平搬送される基板はクリーンで良質な膜質が得られます。
  • 磁場最適化されたカソードは基板への低ダメージ化と高いターゲット利用効率を提供し、ＣＯＯに貢献します。
  • カソード４基の搭載により、異種金属の成膜が可能です。
 
　IDE社　除振装置
  • 床からの振動の影響を受けやすい検査装置などを最大限に軽減させます。
    アクティブ、パッシブの除震モジュールをご提供します。
  • また、磁場キャンセラー、防音装置の組合せにより、計測機器をこれらの影響から守ります。
 
　US-メック　超音波洗浄機
  • 先進の多層型、液晶基板用（枚葉型、バッチ型）超音波洗浄装置です。
  • ハードディスク・ヘッド・光学部品の蒸着前や組立前の工程、液晶パネルの液晶落としガラス基板研磨後の現像・剥離・エッチング工程などに適応します。
  • テクノロジー
    異なる周波数の組合せで精密洗浄を均一化。
    振動子・振動子板の周波数を自在に配置し洗浄ムラを解消します。
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