INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING
除振装置・テーブル
  • 環境障害の要因のーつである床振動は検査装置などの機能に影響します。
  • 除振装置はこれらの振動を軽減し、装置本来の性能を最大限に引き出します。
  • パッシブ・アクティブ 除振装置・除振ワークステーション・真空環境・強磁界環境対応除振装置など用途に応じた製品群により露光装置や検査装置、SEM、TEM などの各種電子顕微鏡の精度向上に幅広く対応いたします。
 
   
 振動制御の概要
  • 振動制御を簡単にまとめてみました。
 
磁場キャンセラー
  • TEM/SEM などの電子顕微鏡に影響する電磁妨害を解消するシステムです。
  • また、MRIなどの医療機器にも適用いただけます。
防音装置
  • 防音システム顕微鏡や検査機を環境障害から守る騒音低減装置です。
  • 工場などの騒音環境下での測定にご利用いただけます。
半導体関連
  • ウ工ハハンドリング、アライメント、 EFEM 装置など、半導体製造装置をシステムでご提供いたします。
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