超高真空ビューイングポート・各種
  特徴
  • 熱歪みの無い窓： 有効径域で偏光及び散乱が殆ど無く高精度の透過が得られます。
  • 非磁性： 強磁性且つ強放射化金属であるコバール金属やインバー等は使用しておりません。
  • 耐圧構造： 加圧になってもリーク発生や窓材の外れ等が無い構造です。
  • 弾性保持： 不均等締めでも窓材の歪みや損傷が起こりにくい構造です。
  • ガラス材種：CaF2、BaF2、ZnSe、MgF2、BK7、KRS-5、結晶水晶、鉛ガラス、合成石英、サファイヤ、LiF、Ge、その他、お問合せください。
  • He リーク量： < 1 x 10-10 pa・m3/sec
  • 各種コート可能： AR/AR コート・ BBAR/BBAR コート等。
  • フランジ： CF コンフラット、材質： SUS304L （標準品）
超大径・超高真空窓
  大出力・大口径・照射ムラ無しのキセノンランプ（172nm）光源用の窓として最適です

特徴
  • 有効径：440mm以上
  • 窓材の脱着（再研磨）可能
  • 窓材に熱ひずみ無し
  • 極小放出ガス：メタルシール（構成部材はSUSとAl）
  • 耐圧構造、非磁性
 
 
   CaF2（弗化カルシウム）
 
  • 天然に蛍石として産出され 1250Å の真空紫外から 10μに至る赤外領域までのきわめてすぐれた透過性と波長による適当な屈折率変化をもち耐水性、耐薬品性、耐熱性など、化学的、物理的に安定な結晶として、紫外から赤外までの広範囲な領域でのレンズ、ウインドウとして用いられます。
  • 弗化カルシウム結晶は光学用（可視・赤外線用）と、紫外線用（無蛍光性）の ２種類があります。赤外線用は 0.3μが付近で吸収があります。紫外線用の中でも、エキシマレーザー用窓板・レンズ素材として、無歪・耐エキシマ性を改良した高品質なものもあります。
   BaF2（弗化バリウム ）
 
  • 1500Å の真空紫外から弗化物結晶としては最長の 15μの赤外域までの広い波長域でのウインドウ、レンズとして用いられます。
   ZnSe（セレン化亜鉛）
 
  • ZnSe は、可視および赤外線透過材料として適しており、CO2レーザー用の窓の他、多くの光学的応用が可能です。 CO2レーザーのばあい、AR/ARコートを施すことにより透過率約99%も可能です。
   MgF2（弗化マグネシウム）
 
  • 1100Å の真空紫外から 7.5μの赤外領域までの、波長域でのウィンドウとして用いられます。
  • バンドギャップが広いのでエキシマレーザー用窓材ととして最適です。
  • 紫外域での偏光素子としても有効です。
   KRS-5（臭沃化タリウム）
 
  • KRS は、［ TIBr (45.7%) + Tll ( 54.3%) ］の組成をもつタリウムハライドの混晶です。
  • KRS-5は45μまでの赤外線を透過し劈開（へきかい）性がなく、水に難溶で比較的柔らかいが光学研磨に対して十分な硬度をもっているので、赤外線用のウィンドウ、レンズとして広く用いられます。
   LiF（弗化リチウム）
 
  • 1050Åの真空紫外から7μの赤外領域までの透過性をもち、ウインドウとして用いられます。
  • 紫外域では、透過性の最もすぐれた物質です。
  • また X 線アナライザー用結晶としても用いられます。
   SiO2（光学用合成石英ガラス）
 
  • この他にも天然の水晶を原料とした溶融石英ガラスもありますが 0.2〜0.25μに吸収があります。
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